主動隔振器的應用與產(chǎn)生，得益于近年來生化研究的普及，與半導體技術的發(fā)展。高倍顯微鏡的放大倍率的提高，使人們不得不研發(fā)隔振效果更好的主動隔振器來滿足顯微鏡對環(huán)境的要求。

高放大倍數(shù)的原子力顯微鏡（AFM）、掃描隧道顯微鏡（STM），光學顯微鏡等電鏡可觀察微米或納米級的放大率。因此對隔震器的要求越來越高，主動隔振器（圖一）的應用完美解決了顯微鏡對環(huán)境振動的要求。

由于高質量成像要求，顯微鏡大多需要裝有高效減震器以足以實驗室或無塵室震動和結構噪音對檢測的影響。

上圖所示，為安裝主動隔振器前后，顯微鏡畫面的對比圖像，安裝前，由于環(huán)境的震動，顯微鏡呈現(xiàn)的圖像有波狀條紋，嚴重影響了畫面觀測質量，安裝后，環(huán)境震動導致的波狀條紋消除，圖像完全清晰了，安裝主動隔振器前后的差別，竟然這么大！

主動隔振器主要應用在高精密設備，如高精度顯微鏡：AFM,、SEM、TEM，光刻機、曝光機等半導體檢測設備，納米試驗室儀器，生命科學研究設備，精密電子秤，精密測量設備，精密設備和精密醫(yī)療設備領域。如果你的設備正面臨著震動的干擾，可以來了解一下哦！

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